不同級別潔凈室、潔凈室與非潔凈區(qū)之間都要保持一定的微壓差，以避免或減少通過開口或縫隙造成的污染擴(kuò)散。普通潔凈室不同級別逐級之間、潔凈室與非潔凈區(qū)之間的微壓差一般為5～10Pa，而某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴(kuò)散，其進(jìn)入通路的各個(gè)房間之間的負(fù)壓差需要維持-30～-10Pa。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB 19489-2004《實(shí)驗(yàn)室、生物安全通用要求》的規(guī)定：相對于大氣壓污染區(qū)為-40Pa；根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB 50346-2004《生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范》的規(guī)定：與室外方向上相鄰相通房間的最小負(fù)壓差為-10Pa。
判定各相鄰房間是否滿足所需靜壓差的要求，需要使用一些測定微壓差的儀表。
在空調(diào)凈化系統(tǒng)中，一般設(shè)有粗、中及高效空氣過濾器。這些過濾器裝置隨積塵量增加，在維持系統(tǒng)風(fēng)量不變的情況下，風(fēng)阻將逐漸增大。各種空氣過濾器在其額定風(fēng)量下，都有其各自合理的終阻力?？諝膺^濾器的風(fēng)阻達(dá)到終阻力時(shí)，意味著該空氣過濾器不宜再繼續(xù)使用，應(yīng)予更換。因此，在各級空氣過濾器處應(yīng)配置微壓差計(jì)并與過濾器前后的靜壓引出管相連，以便隨時(shí)監(jiān)測氣流流過空氣過濾器的壓力降。有些微壓差計(jì)還備有可調(diào)節(jié)壓差設(shè)定的報(bào)警標(biāo)定值，以便超出規(guī)定壓差時(shí)輸出報(bào)警信號。
1、斜管壓差計(jì)
斜管壓差計(jì)由于其斜管傾斜角度ɑ的可調(diào)性，它在ɑ角較小時(shí)，微小壓差在斜管上就對應(yīng)某較長的ι值。壓差的微小變化，都能從ι值的變化靈敏的辨認(rèn)，因此常用于測定微壓差。
無論是潔凈室間的正或負(fù)壓差，或是空氣流過空氣過濾器的壓力降，都可選定不同ɑ角的斜管壓力計(jì)，以適應(yīng)其壓降變化范圍。根據(jù)相鄰房間的氣流流向或壓差，將相鄰房間的靜壓分別接到容器及斜管的氣壓引入口，用以測定壓差；或分別在過濾器前和后的側(cè)壁開微孔，并將其靜壓力引往斜管壓力計(jì)的容器和斜管引入口，以測定空氣過濾器前后的壓力降或流動阻力。
2、曲管壓差計(jì)
曲管壓差計(jì)是一種既簡單而壓差測值適應(yīng)范圍又相對較寬的液體微壓計(jì)，如下圖所示：

利用液體管的曲率變化替代斜管壓差計(jì)的傾角變化，以便于在較寬的范圍內(nèi)測定微壓差，構(gòu)造較為簡單。當(dāng)測定的微壓差較小時(shí)，恰處于曲管斜率較小的直管段。隨著被測壓差的增大，被測值顯示在曲率變化的彎曲管段。被測壓差更大時(shí)，被測值將顯示在斜率很大的直管段上。常將它掛在潔凈室墻上或空氣處理機(jī)組靠近空氣過濾器的外壁上，以監(jiān)測潔凈室內(nèi)外或空氣過濾器前后的靜壓差。
3、彈簧管、彈簧片或膜片壓力計(jì)
彈簧片或膜片壓力計(jì)屬于機(jī)械式壓差計(jì)。因存在壓差使彈簧管、彈簧片變形或膜片位移，根據(jù)其變形量、位移量與所測壓力差存在的函數(shù)關(guān)系為原理制成，通過杠桿機(jī)構(gòu)將變形量傳遞給指針，或通過磁性變化將膜片位移傳遞給指針，以指示壓差量。下面兩圖分別為彈簧管、彈簧片壓力計(jì)工作原理示意圖：
    
彈簧管、彈簧片或膜片壓力計(jì)常見的類別如下所列：
（1）彈簧管壓力計(jì)
彈簧管壓力計(jì)有單圈和多圈之分，單圈彈簧管壓力計(jì)多是指示型的，可以附有觸點(diǎn)裝置；多圈彈簧管壓力計(jì)，彈簧管端移動角度較大，故靈敏度有所提高，并可制成自動記錄型和遠(yuǎn)距離傳送型。
選擇壓力表時(shí)，除特別注明外，被測壓力的最大值宜為選用壓力表滿刻度的2/3（脈動負(fù)載時(shí)取1/2），且不應(yīng)小于1/3；儀表應(yīng)垂直安裝，安裝處和測點(diǎn)處應(yīng)處于同一高度，且距離應(yīng)盡量縮短，通常不宜超過50m。
（2）膜片壓力計(jì)
膜片壓力計(jì)用金屬膜片作為彈性元件，因此所測量壓力不高。儀表安裝位置與測量點(diǎn)的距離越近越好，一般不宜超過50m。儀表應(yīng)安裝在室內(nèi)，環(huán)境溫度應(yīng)在-40～+60℃范圍內(nèi)，相對濕度不宜大于80%。儀表使用時(shí)環(huán)境溫度如果偏離標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境溫度（+20±5℃），則應(yīng)考慮溫度附加誤差。
儀表必須垂直安裝，并力求和測量點(diǎn)位于同一水平面上，如果相差過大，則必須考慮附加誤差。測量正壓時(shí)，一般不應(yīng)超過測量上限值的3/4，如測量變動負(fù)荷則不應(yīng)超過測量上限值的2/3。測量真空時(shí)，可用全部測量范圍。
目前常用的微壓表，其量程分為0～60Pa、0～125Pa、0～500Pa、-60～60Pa等多種規(guī)格。
對于這類機(jī)械式壓差計(jì)，ISO 14644-3給出的技術(shù)要求如下表所列：

（3）電子微壓計(jì)
常見的電子微壓計(jì)與上述膜片式壓力計(jì)相同之處在于，同樣是依據(jù)膜片在兩側(cè)不同壓力作用下所形成的位移量來反映膜片兩側(cè)的壓力表；不同之處在于它不是依據(jù)機(jī)械方式，而是依靠測定膜片位移而產(chǎn)生的靜電電容或電阻的變化量來反映所測壓差的大小。
ISO 14644-3對于電子式微壓計(jì)的技術(shù)要求如下表所列：